軟X射線分析譜儀(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通過組合新開發(fā)的衍射光柵和高靈敏度Ｘ射線CCD相機(jī)，實(shí)現(xiàn)了高的能量分辨率。
和EDS一樣可以并行檢測(cè)，并且能以0.3eV(費(fèi)米邊處Al-L基準(zhǔn))的高能量分辨率進(jìn)行分析，超過了WDS的能量分辨率。

軟X射線分析譜儀系統(tǒng)簡(jiǎn)介

最新開發(fā)設(shè)計(jì)的分光系統(tǒng)，不需移動(dòng)衍射光柵或檢測(cè)器（CCD）就能同時(shí)獲取不同能量的譜圖。而且由于能量分辨率很高，還可以采集狀態(tài)分析分佈圖

SXES、WDS、EDS的比較

各種分光方法中氮化鈦樣品的譜圖

即使在WDS分析中氮化鈦的譜峰也發(fā)生重疊，需要采取去卷積的數(shù)學(xué)方法處理。如下圖所示，SXES具有很高的能量分辨率。

比較表

鋰離子二次電池（LIB）分析實(shí)例

能觀察到LIB的充電量

充滿電后Li-K樣品的譜圖

說明: 由于理論上的原因，氧化鋰的檢測(cè)很困難
 

輕元素的測(cè)試實(shí)例

SXES測(cè)試碳素化合物的實(shí)例

可以測(cè)試金剛石、石墨、聚合物的不同。

各種氮素化合物的測(cè)試實(shí)例

氮素也可以根據(jù)波形分析化學(xué)結(jié)合狀態(tài)。 硝酸鹽和氮化物的波形不同，還能觀察到易受電子束損傷的銨鹽的波形。